Оже - электронный спектрометр JEOL "JAMP-10S"

Предназначен для качественного и количественного анализа состава сверхтонких поверхностных слоев и межфазных границ, сверхтонких наноразмерных пленок, наноразмерных частиц, мультислоев. Позволяет проводить исследование топографии поверхности с развитой структурой на наноразмерном уровне в режиме растровой электронной микроскопии.

Достигаемый рабочий вакуум - 10^-7 Па.
Электронная пушка с энергией электронов - до 10 кэВ
Диаметр электронного зонда - 25 нм
Энергетическое разрешение - (ΔЕ/Е) 0,35
Локальность анализа - 50 нм по поверхности и 1 - 5 нм по глубине слоя.